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能研8713 - 氣體質(zhì)量流量控制器的選購指南

更新時間:2024-05-24      點擊次數(shù):680

8713 型質(zhì)量流量控制器 (MFC) 適合在大流量范圍內(nèi)對氣體進(jìn)行質(zhì)量流量控制。直接位于氣流中的熱 MEMS 傳感器可以實現(xiàn)速度的響應(yīng)。一個直動式 Bürkert 比例閥作為執(zhí)行元件,確保了良好的響應(yīng)靈敏度。集成 PI 控制器,令 MFC 具備的控制特性。8713 型設(shè)備可以針對兩種不同的氣體進(jìn)行校準(zhǔn),用戶可以在兩者之間進(jìn)行切換。與上級設(shè)備的通信采用數(shù)字形式,這樣一來,就可以省去額外的數(shù)模轉(zhuǎn)換。8713 型質(zhì)量流量控制器適合多樣化應(yīng)用,例如燃燒器控制、熱處理、材料涂層、生物反應(yīng)堆、燃料電池技術(shù)或者試驗臺。

  • 標(biāo)稱流量范圍:0.010 lN/min 至 80 lN/min

  • 測量精度和重復(fù)性高

  • 調(diào)控速度特別快

  • 通過 RS485 進(jìn)行數(shù)字通信

  • 緊湊型版本


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